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        首頁>產品中心>半導體材料>晶圓制造材料
    
        
  
        

        

        


	

        

     
        

 	   
        
 	       
        
         
           黃光輔助材料
         
           底部抗反射涂層
         
           光刻膠
         
         
        
       
        

    
          
    

    
        
            
        
        
					 
                
        飛凱材料DUV底部抗反射層材料，搭配合適厚度可以將Al、Cu、W、GaAs等襯底反射率降低到1%以下；具有良好的填隙能力以拓展工藝窗口，分別適用于各類KrF光刻制程。
         
        
				
		       
                
            
        
      
        
      
   
         



        
     
    
        
        
     
         
     
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